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擴散硅壓力傳感器原理及應(yīng)用
  • 發(fā)布日期：2010-12-01      瀏覽次數(shù)：3245
      • 擴散硅壓力傳感器原理及應(yīng)用
      　　被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷）， 使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。
        

      擴散硅壓力傳感器原理及應(yīng)用原理圖

      [1]
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